habarlar

Almaz sim kesmek tehnologiýasy konsolidasiýa abraziw kesmek tehnologiýasy hökmünde hem bellidir. Ol polat simiň ýüzünde konsolidasiýa edilen almaz abraziwiniň elektrokaplama ýa-da rezin bilen baglanyşdyrmak usulyny ulanmakdyr, almaz simi gönüden-göni kremniý çybygynyň ýa-da kremniý külçesiniň ýüzünde täsir edip, üwemek üçin ulanylýar we kesmek täsirini gazanýar. Almaz sim kesmek çalt kesmek tizligi, ýokary kesmek takyklygy we az material ýitgisi aýratynlyklaryna eýedir.

Häzirki wagtda almaz sim bilen kesilýän kremniý waferiniň monokristal bazary doly kabul edildi, ýöne ol mahabatlandyryş prosesinde hem duş geldi, olaryň arasynda mahmal ak iň köp duş gelýän mesele bolup durýar. Şuňa görä, bu makala almaz sim bilen kesilýän monokristal kremniý waferiniň mahmal ak meselesiniň öňüni nädip almaga gönükdirilendigine ünsi çekýär.

Almaz sim kesiji monokristal kremniý waferiniň arassalamak prosesi, simli arra maşyny tarapyndan kesilen kremniý waferini smola plastinkasyndan aýyrmakdan, rezin zolagy aýyrmakdan we kremniý waferini arassalamakdan ybaratdyr. Arassalaýjy enjamlar, esasan, öňünden arassalamak maşyny (degaminger maşyny) we arassalamak maşynydyr. Öňünden arassalamak maşynynyň esasy arassalamak prosesi: iýmitlendirmek-püskürtmek-püskürtmek-ultrases arassalamak-degaminger-arassa suw bilen çaýkamak-az iýmitlendirmek. Arassalamak maşynynyň esasy arassalamak prosesi: iýmitlendirmek-arassa suw bilen çaýkamak-arassa suw bilen çaýkamak-alkali ýuwmak-alkali ýuwmak-arassa suw bilen çaýkamak-arassa suw bilen çaýkamak-deslapky guradyş (haýal galdyrmak) - guratmak-iýmitlendirmek.

Monokristall mahmal ýasamagyň prinsipi

Monokristal kremniý plastinkasy monokristal kremniý plastinkasynyň anizotropik korroziýasynyň häsiýetnamasydyr. Reaksiýa prinsipi aşakdaky himiki reaksiýa deňlemesidir:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2 ↑

Esasan, zamşa emele gelme prosesi şeýle: dürli kristal ýüzüniň dürli korroziýa tizligi üçin NaOH ergini, (100) ýüziň korroziýa tizligi (111)-den ýokary, şonuň üçin (100) anizotropik korroziýadan soň monokristal kremniý plastinkasyna, ahyrsoňy (111) dört taraply konus, ýagny "piramida" gurluşy üçin ýüze emele gelýär (1-nji suratda görkezilişi ýaly). Gurluş emele gelenden soň, ýagtylyk piramidanyň eňňitine belli bir burç bilen düşende, ýagtylyk başga bir burç bilen eňňişe şöhlelenýär we ikinji derejeli ýa-da has köp siňdiriş emele getirýär, şeýlelik bilen kremniý plastinkasynyň ýüzünde şöhlelenme, ýagny ýagtylyk tutujy täsiri peselýär (2-nji surata serediň). "Piramida" gurluşynyň ölçegi we deňligi näçe gowy bolsa, tutujy täsiri şonça aýdyň bolýar we kremniý plastinkasynyň ýüz emitrýaty şonça pes bolýar.

1-nji surat: Şer öndürilenden soň monokristal kremniý plastinkasynyň mikromorfologiýasy

2-nji surat: “Piramida” gurluşynyň ýagtylyk tutujy prinsipi

Monokristally agartmanyň analizi

Ak kremniý waferinde elektron mikroskop arkaly skanirleme arkaly, şol ýerdäki ak waferiň piramida mikrostrukturynyň esasan emele gelmändigi we ýüzünde "mum" galyndy gatlagy bar ýaly görünýändigi, şol bir kremniý waferiniň ak ýerinde zamşanyň piramida gurluşy bolsa has gowy emele gelendigi anyklandy (3-nji surata serediň). Eger monokristal kremniý waferiniň ýüzünde galyndylar bar bolsa, onda ýüzde galyndy meýdan "piramida" gurluşynyň ölçegi we deňligi bolar, normal meýdanyň döremegi we täsiri ýeterlik däl, netijede galyndy mahmal ýüzüniň şöhlelendirijiligi adaty meýdandan ýokary bolýar, adaty meýdana garanyňda ýokary şöhlelendirijilige eýe bolan meýdan wizual taýdan ak reňkde şöhlelenýär. Ak meýdanyň paýlanyş görnüşinden görnüşi ýaly, ol uly meýdanda kadaly ýa-da kadaly görnüş däl, diňe ýerli ýerlerde bolýar. Kremniý waferiniň ýüzündäki ýerli hapalaýjy maddalar arassalanmadyk ýa-da kremniý waferiniň ýüzündäki ýagdaý ikinji derejeli hapalanma sebäpli ýüze çykan bolmaly.

3-nji surat: Ak kremniýli waferleriň sebitleýin mikrostruktura tapawutlarynyň deňeşdirilmegi

Almaz sim bilen kesilýän kremniý plastinkasynyň ýüzi has tekiz we zyýany az (4-nji suratda görkezilişi ýaly). Eriýän kremniý plastinkasy bilen deňeşdirilende, aşgaryň we almaz sim bilen kesilýän kremniý plastinkasynyň ýüzüniň reaksiýa tizligi eriýän monokristal kremniý plastinkasyndan has haýal, şonuň üçin ýüz galyndylarynyň mahmal täsirine täsiri has aýdyň görünýär.

4-nji surat: (A) Eriden kesilen kremniý lavaşynyň ýüz mikrografiýasy (B) almaz simden kesilen kremniý lavaşynyň ýüz mikrografiýasy

Almaz sim bilen kesilen kremniý wafer ýüzüniň esasy galyndy çeşmesi

(1) Sowadyjy: almaz sim kesiji sowadyjynyň esasy bölekleri surfaktant, dispersant, dezinfeksiýa ediji we suw we beýleki komponentlerdir. Ajaýyp öndürijilige eýe bolan kesiji suwuklyk gowy suspenziýa, dispersiýa we aňsat arassalamak ukybyna eýedir. Surfaktantlar adatça has gowy gidrofil häsiýetlere eýedir, bu bolsa kremniý plastinasyny arassalamak prosesinde aňsatlyk bilen arassalanýar. Bu goşundylaryň suwda yzygiderli garyşdyrylmagy we aýlanmagy köp mukdarda köpük öndürýär, bu bolsa sowadyjy akymynyň peselmegine, sowadyjy öndürijiligine täsir etmegine we köpük we hatda köpük daşmagynyň uly kynçylyklaryna sebäp bolýar, bu bolsa ulanmaga uly täsir edýär. Şonuň üçin sowadyjy adatça dezinfeksiýa ediji serişde bilen ulanylýar. Dezinfeksiýa öndürijiligini üpjün etmek üçin däp bolan silikon we poliefir adatça gowşak gidrofil bolýar. Suwdaky ergin adsorbsiýa etmek örän aňsat we soňraky arassalamakda kremniý plastinasynyň ýüzünde galýar, bu bolsa ak tegmil meselesine getirýär. Sowadyjynyň esasy bölekleri bilen gowy utgaşmaýar, şonuň üçin ony iki bölekden ybarat etmeli, Esasy bölekler we köpük çykaryjy serişdeler suwa goşuldy, Köpük ýagdaýyna görä ulanylyş prosesinde, Köpük çykaryjy serişdeleriň ulanylyşyny we dozasyny san taýdan gözegçilikde saklap bolmaýar, Anoaming serişdeleriniň artykmaç dozasyna aňsatlyk bilen ýol berip bilýär, Kremniý plastili ýüzündäki galyndylaryň köpelmegine getirýär, Işletmek hem has amatsyz, Şeýle-de bolsa, çig malyň we köpük çykaryjy serişde çig malyň arzan bahasy sebäpli, Şonuň üçin, öý hojalyk sowadyjylarynyň köpüsi bu formula ulgamyny ulanýar; Başga bir sowadyjy täze köpük çykaryjy serişde ulanýar, Esasy bölekler bilen gowy utgaşyp bilýär, Goşundylar ýok, Onuň mukdaryny netijeli we san taýdan gözegçilikde saklap bilýär, Aşa köp ulanylmagyň öňüni netijeli alyp bilýär, Maşklary ýerine ýetirmek hem örän amatly, Düzgünli arassalamak prosesi bilen, Onuň galyndylaryny örän pes derejelere çenli gözegçilikde saklap bolýar, Ýaponiýada we birnäçe ýerli önüm öndürijiler bu formula ulgamyny ulanýarlar, Şeýle-de bolsa, çig malyň gymmaty ýokary bolany üçin, Onuň baha artykmaçlygy aýdyň däl.

(2) Ýelim we smola görnüşi: almaz simini kesmek prosesiniň soňky tapgyrynda, gelýän ujuna golaý kremniý wafer öňünden kesildi, çykyş ujuna golaý kremniý wafer heniz kesilmedi, irki kesilen almaz simi rezin gatlagyna we smola plastinkasyna kesilip başlady, kremniý çubugynyň ýelimi we smola tagtasy ikisi hem epoksi smola önümleri bolany üçin, onuň ýumşama nokady esasan 55 we 95℃ aralygynda, eger rezin gatlagynyň ýa-da smola plastinkasynyň ýumşama nokady pes bolsa, kesmek prosesinde aňsatlyk bilen gyzyp, onuň ýumşamagyna we eremegine sebäp bolup biler, polat sime we kremniý wafer ýüzüne birikýär, almaz çyzygynyň kesmek ukybynyň peselmegine sebäp bolýar, ýa-da kremniý waferleri kabul edilip, smola bilen boýalýar, birikdirilenden soň, ýuwulmagy örän kyn, şeýle hapalanma esasan kremniý waferiniň gyrasynyň golaýynda bolýar.

(3) kremniý poroşogy: almaz simini kesmek prosesinde köp kremniý poroşogy öndürilýär, kesmek bilen, ergin sowadyjy poroşogynyň mukdary barha ýokary bolýar, poroşok ýeterlik uly bolanda, kremniý ýüzüne ýapyşýar we almaz simini kesmek kremniý poroşogynyň ölçegi we ululygy onuň kremniý ýüzünde adsorbsiýasyny ýeňilleşdirýär, arassalamagy kynlaşdyrýar. Şonuň üçin sowadyjy suwuklygyň täzelenmegini we hilini üpjün ediň we sowadyjy suwuklykdaky poroşogyň mukdaryny azaldyň.

(4) Arassalaýjy serişde: häzirki wagtda almaz sim kesiji önüm öndürijiler esasan şol bir wagtyň özünde ergin kesmegi ulanýarlar, esasan ergin kesmegi öňünden ýuwmak, arassalamak prosesi we arassalaýjy serişde we ş.m. ulanýarlar, kesiş mehanizminden bir almaz sim kesmek tehnologiýasy, doly liniýa, sowadyjy we ergin kesmek uly tapawut döredýär, şonuň üçin degişli arassalamak prosesi, arassalaýjy serişde dozasy, formula we ş.m. almaz sim kesmek üçin degişli sazlamalary etmeli. Arassalaýjy serişde möhüm tarap bolup durýar, asyl arassalaýjy serişde formulasy, sürfaktant, alkalizm almaz sim kesiji kremniý waferini arassalamak üçin amatly däl, almaz simli kremniý waferiniň ýüzüne, maksatly arassalaýjy serişdesiniň düzümine we ýüzündäki galyndylaryna we arassalamak prosesine laýyk gelmelidir. Ýokarda agzalyp geçilişi ýaly, ergin kesmek üçin köpük çykaryjy serişde gerek däl.

(5) Suw: almaz simini kesmek, öňünden ýuwmak we arassalamak üçin suwuň daşmagynda hapaçylyklar bar, ol kremniý plastinkasynyň ýüzüne siňip biler.

Mahmal saçlaryň ak görünmegi meselesini azaltmak üçin teklipler

(1) Sowadyjyny gowy dispersiýa bilen ulanmak üçin we kremniý plastinkasynyň ýüzünde sowadyjy bölekleriň galyndysyny azaltmak üçin sowadyjynyň az galyndyly köpük çykaryjy serişdesini ulanmagy zerurdyr;

(2) Kremniý waferiniň hapalanmagyny azaltmak üçin laýyk ýelim we smola plastinkasyny ulanyň;

(3) Ulanylan suwda aňsat galyndy hapaçylyklaryň bolmazlygyny üpjün etmek üçin sowadyjy suw arassa suw bilen suwlandyrylýar;

(4) Almaz simden kesilen kremniý plastinkasynyň ýüzü üçin işjeňligi we arassalaýjy täsiri has amatly arassalaýjy serişde ulanyň;

(5) Kesiş prosesinde kremniý poroşogynyň mukdaryny azaltmak üçin almaz liniýasynyň sowadyjy onlaýn dikeltmek ulgamyny ulanyň, şeýlelik bilen plastiniň kremniý plastili ýüzündäki kremniý poroşogynyň galyndylaryny netijeli gözegçilikde saklaň. Şol bir wagtyň özünde, kremniý poroşogynyň wagtynda ýuwulmagyny üpjün etmek üçin öňünden ýuwulanda suwuň temperaturasyny, akymyny we wagtyny gowulandyryp biler.

(6) Kremniý waferi arassalaýyş stoluna goýlandan soň, ony derhal işlemeli we tutuş arassalaýyş prosesinde kremniý waferini çygly saklamaly.

(7) Kremniý waferi arassalaýyş prosesinde ýüzüni çygly saklaýar we tebigy ýagdaýda guramaýar. (8) Kremniý waferini arassalamak prosesinde, kremniý waferiniň ýüzünde gülleriň döremeginiň öňüni almak üçin howada galmak wagty mümkin boldugyça azaldylyp bilner.

(9) Arassaçylyk işgärleri tutuş arassalamak prosesinde kremniý plastinkasynyň ýüzüne gönüden-göni degmeli däldirler we barmak yzlarynyň çap edilmeginiň öňüni almak üçin rezin ellik geýmelidirler.

(10) [2] salgylanyşynda, batareýanyň ujuna 1:26 göwrüm gatnaşygyna (3% NaOH ergini) laýyklykda wodorod peroksid H2O2 + aşgar NaOH arassalamak prosesi ulanylýar, bu bolsa meseläniň ýüze çykmagyny netijeli azaldyp biler. Onuň prinsipi ýarymgeçiriji kremniý plastinkasynyň SC1 arassalaýjy ergini (köplenç suwuklyk 1 diýlip atlandyrylýar) meňzeşdir. Onuň esasy mehanizmi: kremniý plastinkasynyň ýüzündäki oksidlenme plýonkasy NaOH tarapyndan poslanýan H2O2-niň oksidlenmesi bilen emele gelýär we oksidlenme we poslanma gaýta-gaýta ýüze çykýar. Şonuň üçin kremniý poroşogyna, smola, metal we ş.m. birikdirilen bölejikler hem poslanma gatlagy bilen arassalaýjy suwuklyga düşýär; H2O2-niň oksidlenmegi sebäpli plastinkanyň ýüzündäki organiki maddalar CO2, H2O-a parçalanýar we aýrylýar. Bu arassalamak prosesi kremniý plastinka öndürijileri bu prosesi almaz sim kesiji monokristal kremniý plastinkasyny arassalamak üçin ulanýarlar, ýerli we Taýwandaky kremniý plastinkasy we beýleki batareýa öndürijileri mahmal ak problema şikaýatlaryny tapgyrlaýyn ulanýarlar. Şeýle hem, batareýa öndürijileri şuňa meňzeş mahmal öňünden arassalamak usulyny ulandylar, şeýle hem mahmal ak reňkiniň görnüşini netijeli gözegçilikde saklaýarlar. Bu arassalamak prosesiniň kremniý waferiniň galyndylaryny aýyrmak we batareýanyň ujundaky ak saç meselesini netijeli çözmek üçin kremniý waferiniň arassalaýyş prosesine goşulýandygyny görmek bolýar.

netije

Häzirki wagtda almaz simini kesmek monokristal kesmek ulgamynda esasy gaýtadan işlemek tehnologiýasyna öwrüldi, ýöne mahmal ak reňkini döretmek meselesini öňe sürmek prosesinde kremniý plastinasyny we batareýa öndürijilerini biynjalyk edýär, bu bolsa batareýa öndürijileriniň almaz simini kesmek kremniý plastinasynyň belli bir garşylyga eýe bolmagyna sebäp boldy. Ak meýdanyň deňeşdirme seljermesi arkaly, ol esasan kremniý plastinasynyň ýüzündäki galyndylardan ýüze çykýar. Öýjükdäki kremniý plastinasynyň meselesiniň has gowy öňüni almak üçin bu makala kremniý plastinasynyň ýüzüniň hapalanmagynyň mümkin bolan çeşmelerini, şeýle hem önümçilikde kämilleşdiriş tekliplerini we çärelerini seljerýär. Ak tegmilleriň sanyna, sebitine we görnüşine görä sebäpleri seljerip we gowulandyryp bolýar. Aýratyn hem wodorod peroksidi + aşgar arassalaýyş prosesini ulanmak maslahat berilýär. Üstünlikli tejribe, umumy senagat işgärleri we öndürijiler üçin salgylanmak üçin, almaz simini kesmek kremniý plastinasynyň mahmal agartmak meselesiniň netijeli öňüni alyp biljekdigini subut etdi.